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什么叫洁净室
•在ＩＳＯ１４６４４标准中规定：洁净室是一个特殊的空间，该空间的空气
中悬浮粒子浓度受到控制，通过一定的设备和方法使进入，产生，滞留在空
间内的粒子最少．其他的参数如温度，湿度，气压，照明等也受到控制．
•
关键词语：特殊空间，
粒子浓度，
设备方法，
进入，产生，滞留
①不将污染物带入
·要有换气窗，HEPA过滤器无泄漏
·室内要维持正压
·入室前要更衣
·部品/工夹具需清洁后带入
②不制造污染物
·要穿防尘服
·不使用易产生灰尘的材料、用品等
·减少人员等的行动
·不要品不要带入(如铅笔)
③不堆积污染物
·构筑易清扫环境
·线束配管不外露
·清扫、保养规定及时实施
④排除污染物
·合适的换气次数
·易产生污染源接近排气通道
·最适合的气流
